2月2日,，湖南凱美特氣體股份有限公司 （以下簡稱“凱美特氣”）發(fā)布公告稱，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司（以下簡稱“岳陽凱美特”）光刻氣產(chǎn)品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應商認證,。

根據(jù)公告,，岳陽凱美特生產(chǎn)于2月2日收到Cymer公司發(fā)來的合格供應商認證函，岳陽凱美特生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過了Cymer公司審查,，Cymer公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應商名單,。

資料顯示，ASML子公司Cymer是世界領先的準分子激光源提供商,，是深紫外技術的行業(yè)領導者,，是ASML集團內(nèi)一家獨立運營的企業(yè)。

Cymer公司發(fā)明了如今半導體制造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外（DUV）光源,，開發(fā),、制造和服務深紫外（DUV）光源。

產(chǎn)品組合包括使用氟化氬（ArF）或氟化氪（KrF）氣體產(chǎn)生深紫外光的準分子激光器,。

凱美特氣表示,，公司光刻氣產(chǎn)品通過Cymer公司的合格供應商認證，是Cymer公司對公司在光刻氣生產(chǎn)領域的生產(chǎn)能力,、產(chǎn)品質量的認可,，也是公司先進的產(chǎn)品生產(chǎn)技術、鋼瓶內(nèi)壁處理技術,、氣體分析技術等各方面綜合實力,、競爭優(yōu)勢的體現(xiàn)。

國產(chǎn)化浪潮下,，國內(nèi)廠商遇良機……

電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石,，被譽為晶圓制造之“血液”，下游廣泛應用于集成電路,、面板,、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金,、化工等傳統(tǒng)行業(yè),。

電子特氣在半導體晶圓制造應用中占比約70%,，其次是面板顯示市場占比約20%。

除此之外,，電子特氣還廣泛應用于LED,、太陽能電池、醫(yī)療健康等領域,。

在集成電路等高端領域,，電子氣體被液化空氣集團、林德集團,、大陽日酸,、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷，國內(nèi)廠商市場份額較小,。

然而,，近年來，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產(chǎn)能的逐步釋放,，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊,。

另外，隨著中國半導體制造的崛起,，也加速推動了半導體材料的國產(chǎn)化進程,。

有數(shù)據(jù)顯示，2017-2021年,，中國特種氣體市場規(guī)模從175億元增至342億元,，年復合增速達18%，預計到2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達到808億元,，2021-2026年復合增長率為18.76%,。

據(jù)悉，凱美特氣并否國內(nèi)首家獲得ASML認證的電子特氣廠商,，在此之前,，國內(nèi)另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發(fā)的Ar/F/Ne、Kr/Ne,、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣已于2017年得到ASML的認證,。

此外，國內(nèi)上市公司杭氧股份,、金宏氣體,、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領域,。

文章出處：半導體行業(yè)觀察